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项目 参数 限真空 低于9.0E-5pa 恢复真空 10min内3.0E-3pa 空 低于9.0E-2pa 温度均匀性 280℃±10℃（30min加热后） 成膜均匀性 小于5nm 成膜再现性 小于5nm 成膜控制 ... ...
仪器描述 中心厚度光学检测仪是一用光学原理对平面；凸透镜；凹透镜的中心厚度进行非接触式测量的检测仪器。 仪器特点 *不接触镜片表面测量，动作刮伤。 *检测速度快探测器，可在... ...
仪器描述 BCSP光谱仪是一套全波长显微球面光学元件光谱分析仪，能快速准确地测量各类球面/非球面器件的相对/反射率，适用于凸透镜、凹透镜、镜片等的镀膜反射率测量。 仪器特点 *显微测定微小领... ...